什么是氢气解吸分析仪？

 氢敏热脱附光谱系统（英文：Hydrogen-sensitive Thermal Desorb Spectroscopy System）检测样品受热时从样品表面脱附的氢气，分析样品中所含氢气的量以及氢气吸附和脱附的机理这是一个可以让您获取信息的设备。

设备主要由真空室、样品加热机构、排气系统、四极杆质谱仪等组成。

 

应用领域之一是半导体器件。在该领域，氢被认为是最难控制的杂质，由于其检测困难，其对器件性能的影响一直被忽视。

 

然而，近年来，有报道称杂质氢是薄膜晶体管中操作不稳定和无意载流子掺杂的原因，并且杂质氢的重要性开始被认识到。

 

进一步提高器件质量和开发下一代器件需要高灵敏度的氢检测，而氢解吸分析仪可以满足这一需求。与其他方法相比还具有成本低、设备配置简单等优点。其他应用领域包括石墨烯等先进薄膜材料。